一个宽范围、高分辨率的检测器和一个直接驱动元件，提供了在同类产品中更优越的高精度测量。
范围／分辨率>800μm / 0.000125μm (8μm 测量范围)直线度移动长度SJ-401 驱动部: 0.3μm / 25mmSJ-402 驱动部: 0.5μm / 50mm
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