1． 型号规格：FLY 6542． 主要技术指标：
2.1测量范围：X=500mm，Y=600mm，Z=400mm2.2空间测量示值误差：E≤2.7 L/250µm2.3探测误差：R≤2.8µm2.4分辨率：
0.5µm2.5最大运动速度：300mm/s2.6最大承受重量：500kg2.7仪器重量：650kg2.8外型尺寸：1500mm×1250mm×2500mm2.9环境要求：l 温度范围：20±2℃，0.5℃/hl 气源压力： 0.6MPa～0.8MPa，200L/min(0.4MPa)l 湿度范围：45%-65%l 电源： 220V±10% ，50Hzl 功率：1200瓦地面振动：频率范围：0～6Hz，
6～50Hz，
＞50Hz