测量/评定：
基于Windows操作系统的MarSurf XR 20软件具有德语、英语、法语、意大利语以及西班牙语等多种语言。
参数和轮廓：
超过65个R-轮廓、P轮廓、W轮廓和motifs参数，带公差监测和统计功能。参数列表和特征曲线。 轮廓分辨率：
取决于传感器型号，为± 25 µm测量范围内，最小分辨率可达76 nm。 测量范围：
± 25 µm到± 2500 µm，取决于所用传感器类型。 采样长度个数N：
1个到5个，或1个到Nmax个在N x Lc模式中，Nmax=驱动单元的最大测量长度/Lc滤波设定） 滤波器类型：
GS / 2RC / SF ISO 13565-1 /外形翻转NEG/ARC-(弧形消除) -支持选择其他特别的过滤器 取样长度 Lc：
可自由设定Lc，最大25 mm ，Lc = f(lt)；0.025 mm / 0.08 mm / 0.25 mm / 0.8 mm / 2.5 mm / 8 mm以及短截止波长Lc， 默认取样长度值符合ISO 4288规定，取样长度取决于Lt和dx。 驱动单元
PZK, GD 25, PGK 20, PGK 120, PRK (通过PAV 62) | 
