采用惰气做载气，利用位于脉冲加热炉上下两个电极之间的石墨坩埚瞬间高达3000℃的特性，使样品在其中被加热熔融。样品中氧化物和氮化物与C发生还原应，生成CO 和N2。H, Ar以H2 和Ar形式释放。载气将反应释放的混合气体CO、N2，H2，Ar载入飞行时间质谱检测器，不同质量数的离子飞行时间不同，根据被分离的不同离子信息最终得到样品中O，N，H，Ar的含量。
a)单次分析可同时检测O、N、H和Ar的含量
b)测定线性范围宽 
c)超低含量检测
d)采用先进的飞行时间质谱检测器 
e)气路简洁，死体积小
f)可靠的脉冲加热控制系统
g)稳定的流量控制系统