X轴(驱动部)

测量范围

100mm

分辨率

0.05μm

测量方法

线性编码器

驱动速度

0-40mm/s

测量速度

0.02-5mm/s

测量方向

向后

直线度

0.15μm /100mm

Z2轴(立柱)

类型

手动操作或电驱动

垂直移动

350mm或550mm*

分辨率*

1μm

测量方法*

旋转编码器

驱动速度*

0-20mm/s *仅适于电驱动型

检测器

范围/分辨率

800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,
8µm / 0.0001µm

检测方法

无轨／有轨测量

测力

4mN 或 0.75mN (低测力型)

测针针尖

金刚石、90º / 5µmR
(60º / 2µmR: 低测力型)

导头曲率半径

40mm

检测方法

差动电感式

控制器

显示

7.5〞带背光的TFT彩显

打印机

内置热敏打印机

放大倍率

水平：×10至×500,000、自动

垂直：×0.5至×10,000、自动

驱动装置的驱动

通过操纵杆手动手柄的操作