特点:
* 具有数位圆弧补正机能,以减少圆弧运动之误差。
* 45°倾斜机构:可根据工作物之形状,于45°内任意自由变化。
* 新开发测定力调整:依据转盘式、测定力调整机构,可于 Stylus 种类及姿势不变之下,容易地设置测定力。
* 高精度 Real time 测定。
* 测定方向选择:测定方向可上 / 下、右 / 左 、自动切换,可避免测试物摆设之困扰。
* Stylus 升降机构(电动)。
* 多功能之形状解析装置。
KOSAKA
主要技术参数:
1.测定精度:Z:( 1 +|0.04h um ) X:( 1 + 0.02L ) um
2.测定范围:纵( Z )58 mm、横( X )100mm
3.X、Z 轴 Scale 解析能: 0.1μm
4.测定倍率(X . Z):0.01 ~ 10,000 倍
5.驱动速度:0.02、0.05、0.1、0.5、1、2 mm / s(回程速度:驱动速度 0.02 ~ 10 mm / s)
6.真直度精度:1μm / 100 mm
7.圆孤补正方式:数位圆孤补正
8.检出器 PU-FJ25
8-1. Stylus:R25μm 超硬
8-2.测定力:10 ~ 30 mn
8-3.追随角度:爬升 77° 、下滑 87°
8-4.补助机能:跳动机能、过负荷停止、Stylus电动上下、测定范围限制
9.测定方向:上、下两方向(PU-FJ25),或推 / 拉两方向。
10.驱动装置倾斜角度:± 45°
11.检出器上、下动范围:200 mm 自动停止含电动上下
12.形状解析机能:标准配件
13.电源:AC 100V 50 / 60 HZ 600 VA
14.设置尺寸:W 1200 *D 770 *H 750 mm
15.重量:120 kg