SET3/1064/532/355，SFT3：激光调阻机产品特点：--调阻精度高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能；--调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快；--可靠性高：整机配置核心器件均采用原装进口配置；采用花岗岩台座，稳定可靠；--功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能；--运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本； 激光调阻机技术参数：--激光器系统：激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器激光波长：1064/532/355nm激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)激光频率：200Hz-50KHz典型光斑尺寸：30μm实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12μm泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时冷却方式：风冷对焦方式：计算机程序控制--激光束定位系统：激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）点到点运动时间：5ms（典型）最大速度：7000mm/s重复定位精度：
2.5μm激光束最小步进：
0.76μm--图像监视系统：监视方式：激光同轴监视最大放大倍数：>100倍图像监视显示屏：19寸液晶--测量系统：激励方式：电流/电压激励恒流源：
0.01μA~100mA计算机程控选择恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）电阻测量方式：四线制加电流测电压直流电压测量：10mV~10V（满程电压）调节对象发热控制：程序可设定电阻测量精度：低阻：<0.05% 1%/R
（R<100Ω）
中阻：<0.05%高阻：<0.05% 0.02%R（R>0.1MΩ）电阻测量范围：
0.01Ω-500MΩ电阻测量速度：25μs直流电压分辨率：
0.16μV（在10mV满量程条件下）探针板：44针11组四线制（可选其它规格）探针板运动：计算机程序控制--计算机及软件系统：工业控制计算机（双核），17寸液晶操作系统：Windows XPVB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大--分步重复运动系统：运动XY范围：290x260mm运动分辨率：1μm定位精度：小于6μm（带误差补偿）重复定位精度：小于3μm
最大运动速度：900mm/s具有温度补偿等功能--非接触温度测量：温度测量精度：
0.2℃调阻温度修正：计算机程序控制--其它技术指标：供电电压：220V AC整机功耗：小于1000W应用和市场：主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业。