洁净棚可采用工业铝材（或不锈钢方管、铁方管喷塑）作为框架，风机滤网机组（ FFU ）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），也可以采用彩钢板结构，其内部净化级别可达到 100-10000 级。适用于洁净车间内局部净化级别要求高的区域。特点：单向流（1—100级）洁净室
1—100 级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使洁净室气象 “ 活塞 ” 一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现 “ 活塞 ” 的效果，高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非单向流（1000—10万级）洁净室
1000—10 万级洁净室的气流组织方向和 100 级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。
不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。洁净度洁净区域尺寸（ feet ）所用 FFU 数目风量（ m3/h ）10/100 级4x4x7223004x8x7446006x8x7669006x12x79103506x16x712138006x20x715172508x8x7892008x10x710115008x12x712138008x16x716184008x20x7202300010x12x7151725012x12x718207001000 级6x12x7223006x16x7223006x20x7334508x8x7223008x12x7223008x16x7446008x20x74460012x12x74460012x16x75575012x20x76690010000 级6x12x7111506x16x7111506x20x7223008x12x7111508x16x7223008x20x72230010x12x72230012x12x72230012x16x73345012x20x744600
