规格（mm)

相邻两测量面垂直度
（um）

测量面直线度
（um）

相对测量面平行度
（um）

精度等级

00

0

00

0

00

0

160×160

2

4

0.8

1.7

2

4

200×200

2

4

0.9

1.8

2

4

250×250

2.2

4.5

1

2

2.2

4.5

300×300

2.6

5.2

1.1

2.3

2.6

5.5

400×400

3

6

1.3

2.6

3

6

500×500

3.5

7

1.5

3

3.5

7