两线关键设备。

主要性能参数：

1、整线占地：15.6*5m

2、蚀刻线速度：2.08m/min(V)

3、V值下的蚀深值：0.1±0.03

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正成设备 - -从设计到成品要经过72道检验才能出厂。

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