■装有高精度广泛围检出器
测量范围 Z轴方向 5mm范围(分解能:80nm)~0.05mm范围(分解能:0.8nm)
指示精度 Z轴方向±2.5+︱2H︱/100μm 检出器的测量范围:±2.5mm
■装载有新型线形马达驱动部(专利申请中)
能达到世界最高水平的测量速度和低振动,实现更加稳定的高倍率测量。
而且,国为是构造简单的非接触式驱动,所以能长期稳定的使用
■使生产性大幅度提高的高速测量
粗糙度测量 最大3mm/s, 轮廓测量 最大20mm/s,移动速度 最大60mm/s
测量效率 最大提高10倍(本公司相比)
項目 / 型式
SURFCOM 2000DX3/SD3
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量測範圍
Z軸(縱方向)
50mm/标准吊臂,10mm/2倍吊臂
X軸(橫方向)
100mm
200mm
精度
Z軸指示精度
±(2.5+|2H|/100)μm H:測量高度(mm)
測量解析度
0.8nm/0.5mm測量範圍,3.2nm/0.2mm測量範圍,8nm/0.5mm測量範圍,
16nm/1mm測量範圍,32nm/2mm測量範圍,80nm/5mm測量範圍
X軸指示精度
±(1.0+1L/100)μm (L:测量长度mm)
0.016μm
真直度精度
(0.05+1.0L/1000)μm L:量測長度(mm)
感應方式
Z軸(縱方向):差动变压器 X軸(橫方向):Moire光柵尺
速度
立柱上下速度(Z軸)
3~10mm/s
速度(X軸)
测量速度:0.03~20mm/s,移动速度:最大60mm/s
检出器
测定子、测定力
交换式
测针半径、材质
2μmR,(60°圆锥鑽石材質)0.75mN,25μmR(24°圆锥超硬)5mN各1支标准付属品
移动范围
驱动部行程
立柱上下动行程
250mm
450mm
650mm
平台
尺寸
600×320mm
1000×450mm
容许载重量
37kg
28kg
93kg
84kg
31kg
22kg
87kg
78kg
其它
设置尺寸
横
1250mm
1650mm
深
800mm
900mm
高
1480mm
1680mm
1880mm
质量
225kg
235kg
420kg
430kg
230kg
240kg
425kg
435kg
电源、消耗电力
AC100V±10%(要接地)﹑50/60Hz/ 670VA
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