




FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可称为“自带风机的过滤设备“。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块,下面部分为过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力,还要克服整个循环风所有通道部件的阻力,从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便,风速调节灵活,洁净区易于变更等特点,因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
FFU具有特点:
第一:灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二:可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三:负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四:缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五:减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能免维护等特点。用在循环减少40%的运行
FFU风机过滤器机组可模块化连接使用,使得FFU风机过滤器机组广泛应用于洁净室洁净工作台洁净生产线组装式洁净室和层流罩等应用场合。
FFU风机过滤器机组设有初高效两级过滤网。风机从风机过滤器机组顶部将空气吸入并经初高效过滤器过滤。
1特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。
2科宇FFU风机过滤器机组采用外转子离心风机,性能稳定,噪音低。适用于各种环境中获得更高级别的洁净环境。它为不同区域不同洁净等级的洁净室微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室洁净厂房或改造翻新中,既可提高洁净度级别降低噪音和减少震动,也可以大大降低造价。安装维护方便,是洁净环境的理想部件.
深圳科宇长鸿生产的KYAIR牌FFU可模块化连接使用,使得FFU广泛应用于无尘室无尘操作台无尘生产线组装式无尘室和局部百级等应用场合。
特点:
1可使用多种方式控制速度。
2极低的运转消耗功耗,降低成本。
3内置风道导流系统,降低噪声和压损,提高风机效率。
4可轻易搭配各种厂牌之T-GRID及HEPAULPA。
5德国EBM原装后倾式离心风机,能提供高风量.高静压条件,工作寿命长达五万小时以上。
6适合使用于洁净度Class1-1000级无尘室。
7特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线
8产品出厂前均按美国联邦标准209E,用尘埃粒子计数器逐台扫描检测,确保质量