²
型:无隔板超高效过滤器、有隔板超高效过滤器、组合式大风量超过高效过滤器、耐高温超高效过滤器等;²
滤
料:U15-U17美国HV玻纤滤纸;²
过滤效率:U15-U17,U15:
99.9995%@0.12μm、U16:99.99995%@0.12μm、U17:99.999995%@0.12μm(MPPS);²
框
材:铝型材框、铝板折框、镀锌框、不锈钢框;²
密封胶条:EVA、氯丁橡胶;²
过滤尺寸:依据客户实际要求制定,铝型材参考厚度:46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm(MMPS);n
适用场合:适用于超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。型号箱体外形尺寸(W×H×D)(mm)额定风量(m3/h)过滤面积(m2)容尘量(g)初阻力(Pa)终阻力(Pa)过滤效率0.12μmKYAIR-MHF-001484×484×503504.28250≤150400≥99.9995%U15-U17KYAIR-MHF-002610×610×506006.84410≤150400KYAIR-MHF-003915×610×5090010.29600≤150400KYAIR-MHF-0041220×610×50120013.74800≤150400KYAIR-MHF-005484×484×696006.58400≤150400KYAIR-MHF-006610×610×69100010.48600≤150400KYAIR-MHF-007915×610×69140015.78950≤150400KYAIR-MHF-0081220×610×69180021.081250≤150400KYAIR-MHF-009610×610×96160017.881050≤150400KYAIR-MHF-010915×610×96240026.991600≤150400KYAIR-MHF-0111220×610×96320036.122100≤150400