1、日本FMR是负性感光抗蚀剂,有较好的耐酸、耐碱性,适合精细图文制版;
2、FMR的解像性比较好,由于抗蚀剂中的金属离子含量极少,所以适合于精细移印钢板,半导体管(电晶体)、二极体、IC(集成电路)和LSI(大规模高密度集成电路)等方面使用。使用方法: 1、表面处理:使用白电油对金属板进行完全的清洁。
2、涂布处理:可用多种涂布方法,如旋转、浸蘸、喷涂等。
3、烘干:置入热风恒温干燥器中,80-100℃,20分钟;(置于室温下6小时干燥)4、曝光:用i线(365nm)~g线(436nm)曝光。
5、显影:使用FMR显像液,在常温下显影1分钟,用FMR洗涤液冲洗30秒。
6、烘烤:显影后热风干燥3分钟,可以提高耐腐蚀性 7、蚀刻:按常规处理。