X

Y

Z

测量范围(mm)

 300～1,500

 300～2,000

  50～ 300 

分辨率(µm)

0.5/0.1

最大允许误差
(µm,L:mm)

 1.0+L/300～3.5+L/300

最大速度(mm/s)

400

空气需求(kg/c㎡)

4,25

成像系统

 1/2" 高精扫描CCD测头
分辨率:1280×960
视野:6.4×4.8mm
Telecentric Lens

照明系统

LED环形灯(红色或白色)
LED同轴灯(用户选配)
数字LED控制器(RS232c)
背景灯(荧光灯)

可选项

接触式测头
激光位移传感器
可驱动的变焦镜头
WSI