VERG® 射频电源
　　先进和多功能的 VERG® 平台可提供非常稳定的射频功率输送性能，以及一个多样化的模式选择，每种模式都具有一套独特的功能（13.56 MHz；0.3至5 kW；拥有多种使用者接口），从而使您能够选择一套特别适合您应用的组件。　　高质量的组件和较少的零件数量使可靠性和产品生命周期均实现最优化，从而使您的投资和制程生产力得到最大化的利用。一个直观、快捷的操作菜单（可在该组件的多功能前面板上切换，并显示在一个128 x 64像素的液晶显示屏上）带来了无比的便利性——提高了操作人员的效率，并使培训成本最小化。
特点与优势：　优势　特点1、更长的制程执行时间
2、操作简易和灵活
3、快速实现客户定制
4、使用简易，节省成本
5、高质量、快速的服务和支持1、简易可靠的设计
2、标准的平台安装
3、高效率——低发热量
4、RS-232、RS-485、用户接口和匹配器接口通讯控制
5、多功能前面板
6、直观的液晶显示操作菜单 信号频率13.56 MHz±0.005%功率输出范围10W-1000W最大反射功率200W射频输出接口50 Ω, N-type, female功率稳定度±0.1%谐波分量≤-50dbc供电电压单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ整机效率≥70%功率因素≥90%冷却方式强制风冷整机重量19.5kg整机尺寸88 mm (H)×483 mm (W)×500 mm (D) 3.46" (H)×19" (W)×19.69" (D)