FFU 1、FFU是一种可提供局部高洁净环境的空气净化单元，可灵活地安装在需要高洁净度的工艺点上方，洁净层流罩可以单个使用，也可以多个组合成带状洁净区域。 2、FFU是将空气以一定的风速通过高效过滤器后，形成均流层，使洁净空气气流呈垂直单向流，从而 保证了工作区内达到工艺要求的洁净度，送入工作区。