无尘室（Clean Room），亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害气体、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘室控管之项目：
1.能除去空气中漂游之微尘粒子。
2.能防止微尘粒子之产生。
3.温度和湿度之控制。
4.压力之调节。
5.有害气体之排除。
6.结构物与隔间之气密性。
7.静电之防制。
8.电磁干扰预防。
9.安全因素之考虑。
10.节能之考量。
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3） 空气洁净度等级（N）0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um110210
2100241024
310002371020358 41000023701020035283 51000002370010200035208322961000000237000 3520083202937
3520008320029308
3520000832000293009
352000008320000293000