热解石墨
■产品概述: 热解石墨是新型炭素材料,是高纯碳氢气体在一定的炉压下,在1800℃~2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳,它具有高密度(2.20g/cm)、高纯度(杂质含量(0.0002%)和热、电、磁、力学性能各向异性。在1800℃左右仍能维持10mmHg的真空度。
■主要应用: 石墨加热器
导流桶
PBN/PG复合加热器 原子吸收管
■主要特点:Ø
表面致密,无气孔,易机械加工。Ø
纯度高,总杂质含量<20ppm,气密性好。Ø
耐高温,强度随使用温度升高而增加,2750℃时强度达到最高値3600℃升华。Ø
弹性模量低,导热率高,热膨胀系数小,制品优良好的抗热震性能。Ø
化学稳定性好,耐酸、碱、盐及有机试剂,对熔融金属、炉渣和其他腐蚀性介质均不起作用,在大气中400℃以下氧化不明显,800℃时氧化速度明显增加。Ø
高温下不放任何气体,在1800℃左右能维持10-7mmhg的真空。
■涂层产品应用:Ø
半导体行业中,拉制硅单晶导流筒。Ø
半导体行业石墨加热器涂层。Ø
晶片退火工艺PBN/PG复合加热器涂层。Ø
分析仪器用的原子吸收管热解石墨涂层。Ø
电子束蒸发蒸铝坩埚。
■主要参数: 性能单位数值 表观密度g/cm32.2 氦透过率cm3/s<1×10-12 抗张强度 室温2750℃ Mpa98(力⊥“C”向)264(力⊥“C”向)抗压强度 室温室温 Mpa64.11(力⊥“C”向)304(力||“C”向)抗弯强度 室温室温 Mpa127(力⊥“C”向)118(力||“C”向)热传导率W/m•k376
(“a”向)2(“C”向)热膨胀10℃-11.26
(“a”向)(50-800℃)电阻率Ω•cm2×10-4(“a”向)0.5(“C”向)