型号

SURFCOM 130A

测量范围

X轴（横向）

50m

Y轴（纵向）

800mm(测量范围/分辩率：800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm)

直线度精度

0.3mm/50mm

分析项目

使用规格

JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO规格

参数

Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.

TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc

AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR

评价曲线

剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线（Motif）、波纹度中心曲线（Motif）、包络波纹度曲线

表面特性图表

负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线

倾斜补偿方式

直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键补偿、（直线、R面、两端补偿可以在任意范围内）

倍率

纵倍率（Z轴）

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自动

横倍（X轴）

1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自动

滤波器的种类

标准型滤波器2RC、相位补偿型滤波器2RC、相位补偿型滤波器（高斯滤波器）

测量速度

0.3、0.6、1..5  3mm/s(4速)

传感器

前端半径2mm、材质为金刚石、测量力为0.75mN

先进的功能

测量AI

装载有测量AI功能、即使初学者也可容易掌握

段差分析功能

最适于测量半导体零部件的膜厚及面积

PC卡

输出文本文件、将数据传送至电脑

标准配件

标准片E-MC-S24B、记录纸（E-CH-S21A）、触摸笔（E-MA-S54A）操作说明书

各要素

电源

AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA

设置尺寸

700（W）*300（D）*150（H）mm

重量

8Kg