★ 输出形式/工作电压：（三线制）
位移信号：0～5VDC/+24VDC+10%、0～10VDC/+24VDC+10%、（-5～+5）VDC/+15VDC+10%、（-10～+10）VDC/+15VDC+10%或4-20mADC/+24VDC+10%
速度信号：1V/25.4mm/S（最大10VDC）
★ 工作温度：T1： 0～70℃
T2: -25～+80℃
T3: -40～+85℃
★ 储存温度：-40～100℃
★ 纹波：低噪音环境 小于2mVrms
伺服工作状态 （80～1600mm）小于6mVrms
伺服工作状态 （1600～5000mm）小于10mVrms
性能指标
★ 非线性误差（±%FS）：0.05；量程300mm以下最大误差150 μm
★ 重复性误差： 优于0.002%FS
★ 分辨率： 优于0.002%FS
★ 迟滞： 优于0.002%FS
★ 温度影响：+0.007% FS /℃
★ 零点调整范围： 20%FS
★ 满量程调整范围： 20%FS
★ 频率响应时间：0.2～5ms
