本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术，孪生阴极，中频溅射技术，并配以国际先进的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程全部自动，连续进行。      主组成部分：
      真空室：不锈钢制造，立式，外壁通冷却水，内衬不锈钢挡板。
      真空系统：可选扩散泵系统，蜗轮分子泵系统或低温泵系统。
      蒸发源：直流磁控溅靶和孪生阴极，中频磁控溅射靶，分别固定在真空室两例。
      工件烘烤：采用不锈钢管状加热器配合均热板，确保基片加热均匀性。
      充气系统：气体质量流量计和压强自动控制仪。
      电气控制系统：触膜屏与PLC自动控制，人机对话方式来实现系统的数据显示；操作与控制。
      水冷系统：真空室冷却和阴极冷却，有水压保护开关和水湿开关。