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海兴公司拥有众多专业技术人才,以一流的设计水平、优质的工程施工管理、良好的售后服务支持和诚信的服务理念,为半导体、微电子、PCB、光电技术、光学仪器、生物工程、医药卫生、精细化工和食品工业等高科技领域提供10级-10万级的洁净生产环境。经过多年的努力开发和经营,今天的海兴公司已经拥有如下众多的产品系列:风淋室、货淋室、单人双面垂直流超净工作台、单人单面垂直流超净工作台、单面水平流超净工作台、洁净送风单元FFU、高效送风口、传递窗、风淋型传递窗、自净器、新风柜、无隔板高效过滤器等。其中,公司运用世界领先的德国EBM高质量离心风机,自主研发,所生产的FFU(Fan Filter Unit)、风淋室、传递窗、超净工作台、高效送风口、组装式超净生产线等空气净化设备已在国内外市场上赢得了稳固的地位和良好的销售业绩,获得广大行业用户的一致好评。
单 向 流(1—100级)洁 净 室
1—100级的洁净室,均采用单向流的气流组织送风方式,即洁净室内的气流在同一截面的任一点,气流的方向和速度均保持一致,这样可以使洁净室气象“活塞”一样,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。
要实现“活塞”的效果,高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。
非 单 向 流(1000—10万级)洁 净 室
1000—10万级洁净室的气流组织方向和100级以上的洁净室不同,室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流,它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,来实现净化。
不同的净化等级,主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气,其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。