所制得的粗品氟气通过净化除去夹带的杂质，再经过滤后压缩至贮罐贮存，经与惰性气体混合配比后输送至使用设备。

本装置可以提供用户纯氟气（纯度≥99%），或按用户要求浓度的氟气和其它惰性气体混合气，如氟氮混和气（5%、10%、20%、…） 等等，装置的产能可随用户需用量设计（日产氟气1kg、2kg、5kg、10kg、…）。