磁控溅射真空镀膜机,所谓“溅射”就是用荷能粒子(通常用气体正离子)轰击物体,从而引起物体表面原子从母体中逸出的现象。早在1842年Grove在实验室中就发现了这种现象。磁控溅射靶采用静止电磁场,磁场为曲线形,均匀电场和对数电场则分别用于平面靶和同轴圆柱靶。电子在电场作用下,加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞。若电子具有足够的能量(约为30ev)时,则电离出Ar+并产生电子。电子飞向基片,Ar+在电场作用下,加速飞向阴极(溅射靶)并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。磁控溅射真空镀膜机广泛应用于家电电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装性镀膜及工模具的功能涂层。
本公司的磁控溅射真空镀膜机分为三类,1.中频磁控溅射真空镀膜机(优于直流溅射镀膜机),2.矩形阴极电弧/磁控溅射复合型真空镀膜机,3.真空蒸发/磁控溅射两用型镀膜设备.有以下几大特点:1) 膜厚可控性和重复性好。能够可靠的镀制欲定厚度的薄膜。并且,溅射镀膜可以在较大的表面上获得厚度均匀的膜层;2)薄膜与基片的附着力强。并且部分高能量的溅射原子产生不同程度的注入现象,在基片上形成一层溅射原子与基片原子相互溶合的伪扩散层;3)可以制备特殊材料的薄膜,可以制膜层可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜、化合膜,还可溅射成TiN仿金膜;4)膜层纯度高,溅射膜层中不会混入坩锅加热器材料的成份。