采用惰气做载气，利用位于脉冲加热炉上下两个电极之间的石墨坩埚瞬间高达3000℃的特性，使样品在其中被加热熔融。样品中氧化物和氮化物与C发生还原应，生成CO 和N2。H, Ar以H2 和Ar形式释放。载气将反应释放的混合气体CO、N2，H2，Ar载入飞行时间质谱检测器，不同质量数的离子飞行时间不同，根据被分离的不同离子信息最终得到样品中O，N，H，Ar的含量。
1)单次分析可同时检测O、N、H和Ar的含量
2)测定线性范围宽
3)超低含量检测
4)采用先进的飞行时间质谱检测器
5)气路简洁，死体积小
6)可靠的脉冲加热控制系统
7)稳定的流量控制系统

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