产品型号:EX-3000
品牌:日本电测
产品简介:
本机能测量极细小物件镀膜厚度,可进行单层及多层膜厚测定、合金膜厚成份比同时测定及无素的光谱峰值测定分析。
主要技术参数:
仪器特点:
搭载MS-WINDOWS系统(优越的操作性与高精度测定)
使用与IBM PC兼容个人电脑,采用MS-WINDOWS软体,使用时多彩多姿。 采用二种滤波器
用用数位式滤波器外另有机械式滤波器(两种滤波器),在测定时,若是最适当的条件下, 经常可得到最高的精度。
准值仪5种孔径内藏式
最小的准值仪孔径仅0.1 mm,可测定极微小的部品。
标准:
0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另备有2种特别规格可供选购。 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5
自动测定测量台
利用鼠标来调整测量位置,非常敏捷快速。或是测量位置已完成登陆时,可连续自动测定, 利用座标补正、连结频道,来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。 优越的显示机能
测定部显示尽像的表示
X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置,可由倍率 率更机能来实现尽面上测出物放大。
在膜厚测定中的能谱表示
由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示,操作简单。 提长资料处理的速度
充实测量报告的作成机能
采用MS-WINDOW软件,测定画的撷取,非常简便,可充衬测量报告的制作机能。可同时间 隔处理多项工作,机器在测量中亦可处理其它工作:包括如测量报告的制作。 测定物膜厚附着分布表示
以三次元图案来表示测定物膜厚附着状态的分布,作判定时一目了然。
获得安心的保证性。 自己诊断机能及X线管保食机能
自己诊断机能,迅速的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能, 可加强保养的安全性。
仪器详细介绍:
1. X线源:油浸式1.2mA小型微小焦点X线管. 50kV管电压,可变管电压。 2. 照射方式:由上而下垂直照射方式。
3. 检出器:比例计数管。
4. 滤波器:采用 Co 和 Ni 双滤波器及数字式滤波器,可单一或同时使用。 5. 准直仪:Collimator 采用五种孔径一体成型式,可自动切换使用。 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜.
(选购) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜.
(选购) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜.
6. 样品观测系统:彩色CCD及高画质显示屏。
7. 多能谱分析器:使用256高频分析器,光谱自动分析,在执行测量及运算时,非常快速。 贰. 计算机操作部:
8. 计算机系统:(※仅供参考)
IBM 兼容中文个人计算机.
CPU:Intel Celeron 1GHz.
RAM:128 MB.
Floppy Disk:
3.5 ×1,
40倍速 CD-ROM ×1.
Hard Disk:40 GB.
17" 高画质显示屏.
EPSON彩色喷墨式打印机。
9. 本机型(CO**OS-1X系列)之操作系统采中文窗口(Windows98)对话式操作,非常简便。 -1-
参. 特性说明:
10. 测量项目:
单层膜厚测定.
2层膜厚测定.
3层膜厚测定.
无电解镍膜厚测定.
合金膜厚成份比同时测定.
元素的光谱峰值测定分析.
11. 测量材质:原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。
原子序22以下为吸收法测量。 12. 测量范围:原子序22 ~ 24 , 约 0.2 ~ 20 um.
原子序25