上海伯东Pfeiffer涡轮分子泵 Hipace 1200-2300,抽速范围1200-2300l/s的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装。对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速。
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 产品优点:
1.抽速从1200-2300l/s的全系列产品
2.安装角度可选0°-90°和90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围90 - 265 V
6.获得SEMI S2, UL, CSA和 TÜV认证
7.防护等级IP54符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀,溅镀,分子泵耐粉尘
9.集成分子泵控制器 TC 1200,可直接连接一般电源
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技术参数:
分子泵型号 | 分子泵连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | 最高启动压强hPa | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 |
进气口 | 排气口 | 氮气 N2 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 N2 | 氮气N2 | hPa | 氮气N2 | min | kg |
HiPace® 1200 | 200 | 40 | 1,250 | 1,300 | 1,100 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 27 – 40 |
HiPace® 1500 | 250 | 40 | 1,400 | 1,350 | 1,150 | > 1X108 | 2 | < 1X10–7 | 20 | 2.5 | 29 – 41 |
HiPace® 1800 | 200 | 40 | 1,450 | 1,650 | 1,700 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 20 | 4 | 33 – 34 |
HiPace® 2300 | 250 | 40 | 1,900 | 2,000 | 1,850 | > 1X108 | 1.8 | < 1X10–7 | 20 | 4 | 34 – 47 |
C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。
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