超纯水的整个工艺流程是先经过预处理，然后加药杀毒，再经过RO反渗透系统，再使用离子交换混床或者EDI设备制取超纯水。在超纯水的生产过程中，水中的阴阳离子可用电渗析法，反渗透法及离子交换技术等去除。为了有效地去除杂质，在生产超纯水的过程中，可加入一些化学杀菌剂，如甲醛，双氧水，次氯酸钠等。