铌是低温超导材料,也是医疗亲生物金属元素,作为钽金属的同族兄弟元素,也可应用电子管的电极、整流器、电容,其氧化物具有优良的介电性能,也具有优良的光电子性能。
铌靶或者氧化铌是光电薄膜厂家最常用的靶材。铌靶的表面光滑,晶粒织构主要是[111]型织构。由于铌具有高导电性、高热稳定性和对外来原子的阻挡作用,故用贱射镀膜法在工件和集成电路表面上镀上铌镀层,可防止腐蚀及防止铜向基体硅中扩散的阻挡层。因而作为电极材料和表面工程材料(BM),铌靶材已经被广泛应用于船舶、化工、液晶显示器(LCD)以及耐热耐腐蚀高导电等镀膜工业中。NbOX高折射率材料,应用于光学薄膜增透截止膜,NbO是导电膜层。
平面铌靶
铌靶
氧化铌靶
铌靶相关性能特征:
1、熔点1532℃
2、密度4.55g/cm3
3、导热系数(25℃):54(W/M.K)
4、纯度>99.95%
5、晶粒直径<100μm
铌靶包装方式:真空包装,木箱装放。
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