陪备真空腔和高性能真空泵，全自动真空控制系统，使真空测试过程更加智能化   
镀层厚度测量至0.005微米
分析低含量的轻元素时，使用真空泵设备将空气抽出，使内部在真空状态下进行对轻元素的分析

技术指标
※. 测量元素:从钠至铀等 75 种元素
※. 测量对象:粉末、固体、液体
※. 元素含量分析范围:1ppm-99.99%
※. RoHS 指令规定的有害元素（限 Cd/Pb/Cr/Hg/Br)检出限最高达1ppm
※. 测量时间: 60-200s
※. 能量分辨率为： 140±5eV(德国产SDD探测器)
※. 测量精度: < 0.05%
※. 管压：5-50kV
※. 管流：50-1000uA
※. 温度适应范围： 15-30℃
※. 相对湿度：≤70％
※. 仪器功率：≤200W
※. 工作电压:AC 110V/220V
※. 三维自由超大样品腔设计，样品腔尺寸Φ320×180mm
※. 一次可同时分析24个元素
※. 重量：75kg

配置

X光管
放大电路
高低压电源
双激光定位系统
对被测样品可以放大100倍
清晰观测检测部位
计算机、喷墨打印机
硅针半导体探测器
高清晰摄像头，独特的光路增强系统
专用软件，操作界面十分友好