3号扩散泵油是将一种深度脱蜡的润滑油，经真空分子蒸馏、硅酸铝吸附和薄膜脱气等工序加工生产而成。本品具有极低的饱和蒸汽压和合适的化学组成；具有理想的极限真空度和较高的抽气速度；具有极高的热氧化安定性，能长时间在较恶劣的环境下工作。
3号扩散泵油为各种类型的玻璃和金属扩散泵的工作液，适用于高真空蒸馏、真空冶炼、电子工业及原子能工业等要求获得高真空环境的系统。
3号扩散泵油也可以用作直联真空泵的工作液。