1、特性:经过先进喷射成型工艺,高纯度原料而低气体含量,电阻率低,散热优良。溅射过程中会抑制打火。
2、优点:相对于多晶硅平面靶材来说,晶粒度均匀,同时由于旋转管靶,其利用率大大提高。
3、应用:硅靶(掺杂铝)应用于光学薄膜,NCVM电子产品。硅把合金还可用来生产硅铝明合金和金属热还原剂等,脱氧效果优于纯铝。
多晶硅管靶4、杂质元素含量
5、包装方式:真空包装产品。木箱装放快递。
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