伯东公司HVA28200＆88200系列真空矩形闸板阀(28200 Series Stainless Steel Rectangular/Slit Valve)

HVA28200＆88200系列真空矩形闸板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA真空闸阀专用于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。

28200＆88200系列矩形板阀产品特点：

1.超百万次可靠运行寿命

2.不产生粉末，颗粒，防尘设计

3.阀动作平稳,振动和冲击小

4.标准接口，或按客户要求定制

5.阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理

6.适用于1E-9Torr,200℃条件下

28200＆88200系列矩形板阀技术参数

伯东公司主要经营产品德国Pfeiffer涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种条件下的真空测量(真空计,真空规管)；氦质谱检漏仪，质谱分析仪，真空系统以及美国Brooks CTI Cryopump冷凝泵/低温泵, HVA真空阀门,Polycold冷冻机和美国KRI离子源。

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