在线过滤器PLF系列
采用多孔中空丝膜滤芯，保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
过滤精度高、小型流量大、寿命长
是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
 
过滤精度       0.01μm
处理空气量     50～100 l/min
配管连接口径   M5.Rc1/8