采样车:
PQ-715洁净度工作区内≥0.5um粒径的尘埃应≤3500颗/升(万级)平均风速0.3~0.45m/s噪音≤65dB (A)振动半峰值振幅≤3μm (X、Y、Z三个方向)照度≥300LX电源AC单相220V 50HZ最大功率
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