 Tetra-8-LF型 等离子溅射机 真空舱体 W160mm × H160mm × D325 mm (8 升) * 纯铝，可视观察玻璃，带安全保护舱门 * 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 数字计时器可自动设定操作程序 * 铜气体管、气体流量计、 针阀 * 使用气体流量计和针阀控制气体 * 自动计时器控制等离子处理过程 * 全自动控制 * 功率连续可调 0-300W * 自动阻抗匹配 * 自由设置参数：处理时间、功率、气体 * 安全保护功能：真空触发、舱门锁 * 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱 * 规格：W600mm × H1700mm × D650mm * 电源：AC 400V/50Hz * 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D4B (4 m3/h)  选装件: * 13.56 MHz 射频发生器 *
2.45 GHz 射频发生器 详情参见配件选装指南 • 13.56MHz射频发生器 •
2.45GHz射频发生器 • 半自动控制系统 　 • 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统 • 计算机(PC)控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 • 附加气体通路 　 • 自动真空舱门 • 设备自动门 • 条码阅读器 • 偏压测量系统
• 碟型阀 • 排气过滤系统 • 适用于腐蚀性气体系统 • 舱体托盘可订做 - 适合舱体的最佳尺寸 • 粉末处理装置 • 法拉第容器 • 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体 • 玻璃舱体(硅酸盐或石英)
• 预热板 • 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中