TK系列高真空凸腔油扩散泵
l TK系列高展开凸腔油扩散泵采用新型结构，具有抽速大，启动时间短等特点。
l TK系列高展开凸腔油扩散泵的工作压强为5×10-2～10-5Pa，如果配置适当的冷阱或挡板，极限真空可达10-6Pa。
l TK系列产品连接法兰标准按JB919规定执行。
TK系列高真空凸腔油扩散泵主要技术数据参数（表）
项目/型号 | TK—100 | TK—150 | TK—200 | TK—300 | TK—400 | TK—500 |
极限压力（Pa） | 7×10-5 |
临介压力（Pa） | 45 | 40 | 40 | 40 | 45 | 45 |
抽气速率（L/S） | 480 | 1300~ 1500 | 2400 | 4400 | 7000 | 10000 |
注入油量（mL） | 110 | 300~ 350 | 500 | 1300 | 24000 | 3700 |
加热功率（kw） | 0.8 | 1.2 | 1.5 | 3.0 | 4.5 | 6 |
冷却水耗（L/min） | 4 | 5 | 5 | 6 | 8 | 8 |
TK系列高真空凸腔油扩散泵主要零件材料（表）
零件名称： | 材料： |
泵 壳 | 碳钢或不锈钢 |
泵 芯 | 纯 铝 |
密 封 件 | 丁 晴 橡 胶 |
