山东省聊城市科威化工仪器有限公司

氢气在硅外延工艺中既是外延淀积的硅源、参杂源及氯化氢的携带气体，又是淀积中的还原气体，它的纯度对外延晶格结构完整性起决定性作用。硅外延工艺要求氢气纯度必须高于99.9999%以上，否则外延层表面会出现雾状，桔皮结构，甚至氧化。同时还影响电参数及外延层厚度控制的准确性，外延层工艺质量不稳定，很大程度上就是氢气纯度达不到要求，因此特推出钯扩散氢气纯化器，使氢气的纯度具有稳定性，流量大，纯度高等特点。在世界上来说，只有利用钯管扩散原理来达到超纯氢气的目的。

      该产品引进国外先进技术，为国内各大专院校、科研单位、石油化工、轻工、环保监测、医疗卫生等单位，化验室、实验室、分析室，提供粗氢精制成高纯氢而研制的一种小型钯扩散纯化仪。且一机可配带多台气相色谱和库仑仪，不间断连续工作，自动化程序控制，氢气纯度高达99.9999%。使用寿命长是目前实验室、化验室、分析室最为理想的换代产品。

二、主要技术指标

                    氢气纯度：99.9999%；               最大纯化量：5立升/分钟

                    原料氢压力： 0.8MPa                  纯化氢压力：可调

                    原料氢含氢量：不小于50%          最高使用温度：不大于400℃

                    耗电量：0.8千瓦/小时                  外型尺寸：280×400×500

                    重量：25 公斤                             工作时间：连续使用   

 三、工作原理

       氢分子和氢原子是所有化学元素中最小的分子和原子，如把钯的单晶结构考虑成为面心立方体，立方体的八个角为八个钯原子所占有，六个面的中心部分为六个钯原子所占有，在这个钯原子的密集堆积中，只有在钯管表面能发生离解的氢原子才能通过，而其它元素的原子和分子，其直径都大于钯原子密集堆积的间隙，故不能通过。钯扩散法纯化氢就是利用这个原理，扩散透过钯管的氢，其纯度极高。