纯度(v/v)：99.99％

执行标准：GB/T 18867-2002

简要介绍：用于电子设备、雷达波导、变压器、被雷器等气体绝缘、制冷剂、医疗、半导体制造中的蚀刻，化学气体淀积，色谱仪载气。