​​​​

MASGEL-6650三工位真空炉应用：主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺

真空炉设备参数 
真空炉加热容器口径：≤Φ350mm，不锈钢管/石英管
工作方式：真空炉采用共用一套加热体，A、B、C管交替工作 
工作温度：（真空炉加热容器）高温不锈钢管0-1000℃/石英管0-1300℃
真空炉恒温区：300-1000mm，±2℃ /24h
真空极限：高真空5×10-4Pa /低真空4×10-2Pa
真空炉真空系统：机械泵/机械泵+K300扩散泵 
真空炉阀门：Φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀
额定功率：47KW 
真空计：电阻式压力传感器/复合式数字真空计 
充气种类：N2、Ar、H2 
真空炉工作方式：自动或手动自由转换   
真空炉压力显示：正压、负压均采用数字显示表/电阻式压力传感器  
三工位真空炉交替工作，行走X、Y方向 
真空炉人机界面：触摸屏/工控机

青岛曼什微电子设备制造有限公司| MASGEL