产品介绍

多晶硅靶目前已大量的出口及提供国内大导电玻璃生产厂，每月硅靶的产量约为３吨，主要出口国及地区为美国、日本、台湾及英国，最大单片硅板能提供到直径16英吋或400X400mm。常规的规格为P型，掺B，纯度为≧99.999%，电阻率为≦0.０２Ω•cm, 尺寸精度为±0.1mm.　表面光洁度为Ra≦0.7（也可按客户的要求供货），产品经过真空包装。也可提供管状硅靶，各种形状的硅靶都可以提供。

也可为用户进行硅靶的金属化加工，具体工艺为在硅靶背面镀上一层银厚膜，然后上锡。或提供真空镀银膜的硅靶。