无尘室对应型其特点:符合清洁度Class10（0.1μm）的无尘室对应驱动轴。由于不锈钢密封壳能够防止本体内部发尘，所以只需要少量真空，就能够对应高清洁度。其用途：无尘室内的搬送、定位。

RCS2系列：可利用100V/200V电源工作的小型/中型驱动轴。其特点：1.最高速度100mm/s、最大可搬重量60kg、最大行程1000mm；2.通过XSEL控制器，可以3轴以的组合使用；3.马达安装方法可从联轴器、直接、折返3种类型中选择（部分机种除外）；4.通过选项设定，最高可对应1G的高加减速度进行动作。控制器：SCON、SSEL、XSEL     输入电源：AC100V   200V

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