宝鸡盈钛金属材料有限公司(简称:盈钛金属)位于有“中国钛谷”美誉的陕西宝鸡高新技术产业开发东区,园区为十二五国家重点支持的新材料研发基地。公司专业从事钛、钛合金、镍、铬、,锆,钼,银,锡,钽,铌等有色金属的研发与深加工。
公司针对常规型号的钛板(棒)、镍板(棒)、钛管等现货供应;针对钛包铜、钛环等非标产品以生产周期短,交货及时受到客户广泛好评。
公司针对真空镀膜行业所用靶材专门成立了靶材事业部,所生产的高纯钛靶、高纯铜靶、镍靶、锆靶、镍铜合金靶,以及运用热等静压工艺生产的铬靶、钛铝靶等已通过第三方权威机构检测,完全达到出口欧盟各项检测标准。我公司引进的等离子喷涂机,已安装调试完毕,可独立生产磁控溅射所用铬靶、镍铬靶等产品。其产品广泛应用于电子半导体工业镀膜、平面显示镀膜、光数据、光存储镀膜、光伏太阳能表面镀膜、表面工程等行业。
公司本着:“诚实守信、合作共赢、务实创新”的经营理念,欢迎各界朋友洽谈合作,共创美好明天。
本公司供应钛圆靶材。参数为:产地* 宝鸡,种类* 纯钛材质,牌号* TA1 TA2,钛含量* 99.6%。广泛应用于镀膜行业等质量保证,欢迎咨询洽谈。
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。