说明 该仪器主要用于硅单晶锭柱面定向，测定OF面，也可用于测定其它半导体单晶锭OF面。 晶锭垂直放置在工作台上，在X-RAY的照射下，测定OF。主要技术参数见下表：
项目
参数
晶锭直径
2-8英寸
晶锭长度
500
定向晶面
110
定向精度
±30″
最小读数
10″
http://www.dfx-ray.com
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