双极脉冲磁控溅射电源适用于中频孪生靶磁控溅射金属和非金属导电材料，特别适合于反应磁控溅射镀制ITO膜、介质膜、绝缘保护膜等。本电源能增加离化率，减小电荷积累引起的异常放电，预防靶表面中毒现象。电源输出波形为正负脉冲交替循环。