| 扫描白光干涉显微仪 | | 产品特点及用途 | | 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含： | ● 晶体（Wafer） ● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk） ● 平面电组件（MEMS Components） ● 平面液晶显示器（LCD） ● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB） ● IC封装（IC Package） 以上其它材料分析与组件微表面研究 | | 专业级的3D图形处理与分析软件（Post Topo） | ● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 ● 提供自动表面平整化处理功能 ● 提供高阶标准片的软件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 ● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
（waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据 ● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。
具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。 ● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 |  | | 高速精密的干涉解析软件（ImgScan） | ● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹 ● 垂直高度可达0.1nm ● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果 ● 垂直扫描范围的设定轻松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择 ● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利 ● 具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比 ● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择 ● 具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌 ● 具有自动布补点功能 ● 可自行设定扫描方向 |  | | 检测范例 |
 | | 技术规格参数 |
型号 | SWIM 1510MS | 系统配备 | 显微镜、扫描控制器、移动平台、取得单元、个人计算机 | 显微镜 | 单眼显微镜（标准配件） | 干涉物镜（选配） | 放大率 视野（mm） 光学分辨率（nm） | | 10X 0.5 1.12
20X 0.25 0.84
50X 0.1 0.61 | 影像缩放 | 1.0X（标配） 0.5X（选配） |
垂直扫描控制器 | 扫描范围
扫描分辨率
扫描模式
光强度调整
扫描速度 | 100 μm 400 μm(选配)
0.1nm
自动
自动/手动
12nm/s（最快） | 样品移动平台 | X、Y平面多动平台
Z轴移动平台
位置数字显示单元
偏移调整平台 | 150mm*100mm,手动（标准配件）
80mm, 手动(标准配件)
三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1 μm）
手动 | 取得单元 | 影像传感器
感测器解析度 | 面型CCD（标准配件）
640*480图像(标准配件) |
| 电脑配件 | Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上硬盘 |
分
析 软 体 | MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多，多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等 | | 阶高标准片(选配) | 50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm |
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