说明
该仪器专门用于硅单晶锭定向、粘结后角度复检。待测晶锭在我公司的DX-7C型X射线定向仪定向、在DX-7CZ型粘料仪上粘结后,最终在本仪器上复检,和多线切割机配套使用。它具有一个工作台,工作台上有托板和料板(工件板)的定位、夹紧装置。晶锭与垫条(石墨/玻璃/树脂)、料板粘结后一起装在上述装置上定位夹紧,其端面在X射线照射下进行复检,每个料板只可复检两块晶锭。

主要技术参数见下表:
项目 | 参数 |
晶锭直径 | 2~8英寸 |
晶锭最大长度 | 500 |
测定晶面(硅) | 111,100 |
定向精度 | ±30″ |
最小读数 | 1″ |
晶锭与料板最大转角(α) | ±10° |
料板最大长度 | 500 |
料板宽度 | 70,100 |
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