说明 该仪器主要用于硅单晶锭的定向,也可用于其它种单晶锭(棒)的定向。 该仪器为双工作台,右侧工作台用于晶锭端面的角度定向,左侧工作台用于切割后晶片角度的定向。主要技术参数见下表:
项目
参数
晶锭直径
2-8英寸
晶锭最大长度
500
测定晶面(硅)
111,100
定向精度
±30″
最小读数
1″
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