说明
该仪器专门用于硅单晶锭的定向,是和多线切割机配套使用的半导体行业专用设备。台上有一对滚杠,用于3~8英寸晶锭测定。晶锭放在滚杠上,其端面在X射线照射下定向。
晶锭尾端与编码器偶合,细分步到0.001°,用于测定晶锭旋转角度。可进行四方位(0°,90°,180°,270°)和二方位(0°,90°)测量。该仪器有一套微机控制装置,具有输入键盘、屏幕和打印机等。选择屏幕菜单,键入晶锭编号、所需数据、产品要求的切割偏角等,经计算、显示、并打印出晶锭在料板(工件板)上粘结所必须的自身旋转角β及摆角α等值。

主要技术参数见下表:
项目 | 参数 |
晶锭直径 | 2-8英寸 |
晶锭最大长度 | 500 |
测定晶面 | 111,100 |
定向精度 | ±30″ |
最小读数 | 1″ |
晶锭转角(β) | ±90° ±0.1° |
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